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產(chǎn)品中心

Product Center

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小型離子濺射儀 鄭州 科探

產(chǎn)品簡介

小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD在磁控濺射中,由于運(yùn)動(dòng)電子在磁場中受到洛侖茲力,它們的運(yùn)動(dòng)軌跡會(huì)發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運(yùn)動(dòng),其運(yùn)動(dòng)路徑變長,因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),使等離子體密度增大,從而磁控濺射速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作。

產(chǎn)品型號:KT-Z1650PVD
更新時(shí)間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1663
詳細(xì)介紹在線留言
品牌鄭科探濺射氣體根據(jù)需求氣體
樣品臺(tái)尺寸φ50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質(zhì)金 鉑 銅 銀價(jià)格區(qū)間1-5萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD

離子濺射儀功能:

一個(gè)更加廣泛的選擇由于全自動(dòng)直流離子濺射儀在制樣過程中被提供給了掃描電鏡用戶,從而為掃描電子顯微鏡所需的涂層要求的適用提供了支持。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及人機(jī)界面方面簡單智能,對人性更加的注重。一個(gè)低成本的解決方案由于離子濺射儀對SEM樣品常規(guī)適用黃金濺射被提供了,與此同時(shí)能夠利用對金、鉑、銥、銀、銅等不同的靶材的更換來使得更細(xì)顆粒的涂層達(dá)到。與此同時(shí),利用智能的人機(jī)界面對儀器的控制更加的方便、簡單以及精確,與此同時(shí),能夠?qū)﹀儗雍穸冗M(jìn)行估算,對真空實(shí)時(shí)顯,濺射電流對濺射時(shí)間進(jìn)行設(shè)定,對靶材的剩余情況進(jìn)行計(jì)算。

離子濺射儀在掃描電鏡(SEM)的樣品噴金方便為專用的儀器,樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性可以非常有效的提供,使恒沉積速率得到確保,使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少,使掃描電鏡觀測結(jié)果得到了較為顯著的提高。

產(chǎn)品特點(diǎn):


彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速

    • 通過觸摸屏中直觀檢測數(shù)據(jù)和曲線;歷史頁面可顯示歷史涂層信息。

    • 可控鍍膜速率,可得到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)

    • 可手動(dòng)或自動(dòng),根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射

• 樣品臺(tái)更換簡單:標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn);行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)為多孔樣品帶來好的噴金效果。

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小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù);

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口



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