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氣體液體配比混合 流量精確控制主要用于氣體液體混合配比,液體加熱產(chǎn)生氣體并用其他氣體做載氣,為等離子沉積cvd沉積或其他特定設(shè)備提供氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加， 該氣體配比器也可以選擇多種液體和氣體混合。詳情請(qǐng)聯(lián)系客服人員溝通

液體氣體混合配比器 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量；質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。 它們?cè)诎雽?dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括； 電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等